浙江大族富创得请求SiC外延拆合办法专利可以提高晶圆定位准确性

  金融界2025年3月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江大族富创得科技有限公司请求一项名为“一种SiC外延拆合办法”的专利，公开号CN 119673847 A，请求日期为2024年12月。

  专利摘要显现，本发明触及半导体技术领域，尤其是指一种SiC外延拆合办法，本发明能快速完成石墨环与晶圆或石墨盘之间的兼并与拆分动作，提高晶圆定位准确性，可以独立完成晶圆或石墨盘的寻边纠偏，节约基准校准时刻，下降设备核算复杂度，顺利完成兼并的晶圆、石墨环和石墨盘与外延成长环境之间的取放，确保加工质量。

  天眼查资料显现，浙江大族富创得科技有限公司，成立于2021年，坐落嘉兴市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。经过天眼查大数据分析，浙江大族富创得科技有限公司参加招投标项目5次，专利信息31条，此外企业还具有行政许可5个。

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